AOI系统集成技术牵涉到要害器件、系统设计、整机集成、软件开发等。AOI系统中必不可少的要害器件有图像传感器(相机)、镜头、光源、收罗与预处理卡、盘算机(工控机、效劳器)等。图像传感器最常用的是种种型号的CMOS/CCD相机,图像传感器、镜头、光源三者组合组成了大大都自动光学检测系统中感知单位,器件的选择与配置需要凭据检测要求进行合计设计与选型。
光源的选择(颜色、波长、功率、照明方法等)除了区分与增强特征外,还需考虑图像传感器对光源光谱的灵敏度规模。镜头的选择需要考虑视场角、景深、区分率等光学参数,镜头的光学区分率要和图像传感器的空间区分率匹配才华抵达最佳的性价比。一般情况下,镜头的光学区分率略高于图像传感器的空间区分率为宜,尽可能接纳黑白相机成像,提高成像区分能力。图像传感器(相机)接纳面阵或线阵需凭据具体情况而定,选型时需要考虑的因素有成像视场、空间区分率、最小曝光时间、帧率、数据带宽等。
关于运动物体的检测,要考虑图像运动模糊带来的倒运影响,准确盘算导致运动模糊的最小曝光时间,确定图像传感器的型号。图像传感器的曝光时间应小于导致运动模糊的最小曝光时间,快速曝光选择全局快门模式为宜,高速情况下不易接纳卷帘式曝光模式;为了获得最佳的信噪比,图像传感器的增益尽可能为1,图像亮度的提升尽可能用光源的能量(功率)来弥补,或者在不影响可用的成像景深情况下,增大镜头的孔径光阑。
在系统集成中,被测件的支撑方法、精密传输与定位装置也必须精心设计,这牵涉到精密机械设计技术,这对平板显示、硅片、半导体和MEMS等精密制造与组装工业中的自动光学检测系统很是重要。在这些领域,制造历程通常在超净间进行,要求自动光学检测系统具有很高的自洁能力,对系统构件的质料选型、气动及自动化妆置选型、运动导轨的设计与器件选型都有严格要求,不可给生产情况尤其是被测工件自己带来二次污染。
尤其是用于外貌缺陷检测的AOI系统不可在检测历程中,给被测件外貌带来缺陷(如粉尘、划伤、静电等)。因此,关于大型零件(如高世代的液晶玻璃基板、硅片等)的在线检测,经常需要接纳气浮支撑、定位与传输机构,运动部件(如轴承等)接纳自润滑器件,以及利用FFU风机过滤机组对检测系统进行情况净化,并接纳消静电装置,对工件进行防静电处理。
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